金属涂层复合材料等高电导率要求新材料的测量与分析

工作原理和计算公式

1.四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：

直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：

当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：



四探针测试结构

当电流通过1、2探针，4、3探针测试电压时计算如下：


 

从以上计算公式可以看出：方阻RS只取决于R1和R2，与探针间距无关．针距相等与否对RS的结果没有影响，本公司所生产之探针头都采用等距，偏差微小。