FT-391系列手持式四探针方阻测试仪
FT-391 Series handheld four-probe resistance tester
一.概述Overview：
参照硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》，采集集成电路恒流源系统，提供便捷的操作模式，便携式外型结构，可充电式电源系统，待机时间长，上下限设定.Reference Silicon resistivity measurement international standards (ASTM F84) and national standard design and manufacture of the equipment is d
二.功能介绍Function introduction：
手持式外型结构适用于车间生产、品管抽检，外出、携带测量等要求测量的场所；也适用于中小型半导体材料生产企业.
三.技术参数Technical Parameters：
规格型号Specification model | FT-391A | FT-391B | FT-391C |
1.方块电阻范围sheet resistance | 10～2.00×102Ω/□ | 10～2.00×103Ω/□ | 10～2.00×104Ω/□ |
2.电阻率范围resistivity | 1～2×103Ω-cm | 1～2×104Ω-cm | 1～2×105Ω-cm |
3.分辨率resolution | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
4.显示读数display | 液晶显示：电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. | ||
5.测试方式test mode | 单电测量single electrical measurement | ||
6.工作电源working power | 5V.1000mA | ||
7. 误差errors | ≤4.5%（标准样片结果standard samples） | ||
8.选配choose to buy | 选配1.方形探头； 选配2.直线形探头；探针间距；选配3：探针间距1mm；2mm；3mm三种规格; 选配4：探针材质：碳化钨针;镀金磷铜半球形针square probe; 2. |
