技术参数Technical Parameters：

规格型号Specification model

FT-391A

FT-391B

FT-391C

1.方块电阻范围sheet resistance

10～2.00×102Ω/□

10～2.00×103Ω/□

10～2.00×104Ω/□

2.电阻率范围resistivity

1～2×103Ω-cm

1～2×104Ω-cm

1～2×105Ω-cm

3.分辨率resolution

0.01Ω

0.01Ω

0.01Ω

4.显示读数display

液晶显示：电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness.

 概述：

参照硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》，采集集成电路恒流源系统，提供便捷的操作模式，便携式外型结构，可充电式电源系统，待机时间长，上下限设定.

功能介绍Function introduction：

手持式外型结构适用于车间生产、品管抽检，外出、携带测量等要求测量的场所；也适用于中小型半导体材料生产企业.