规格型model

FT-331

FT-332

FT-333

FT-334

FT-335

FT-336

1.方块电阻范围Sheet resistance

10-5～2×105Ω/□

10-4～2×105Ω/□

10-3～2×105Ω/□

10-3～2×104Ω/□

10-2～2×105Ω/□

10-2～2×104Ω/□

2.电阻率范围Resistivity

10-6～2×106Ω-cm

10-5～2×106Ω-cm

10-4～2×106Ω-cm

10-4～2×105Ω-cm

10-3～2×106Ω-cm

10-3～2×105Ω-cm

测试电流范围

Test current

0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA

10μA，100μA，1mA，10mA，100mA

0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA

10μA，100μA，1mA，10mA，

100mA

0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA

1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA

4.电流 Current accura

±0.1%

±0.2%

±0.2%

±0.3%

±0.3%

±0.3%

5.电阻Resistance

≤0.3%

≤0.3%

≤0.3%

≤0.5%

≤0.5%

≤0.5%

参照标准：

1.硅片电阻率测量的国际标准（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.